金融界2024年1月24日消息，据国家知识产权局公告，清华大学申请一项名为“多级运动装置及其位置检测方法”，公开号CN117438357A，申请日期为2023年9月。

　　专利摘要显示，本发明涉及精密仪器技术领域，尤其涉及一种多级运动装置及其位置检测方法，多级运动装置包括自上而下依次设置层叠的第一框架、一级运动台和二级运动台，二级运动台与一级运动台连接，以驱动一级运动台移动，第一框架设有第一位移检测组件，第一位移检测组件适于检测一级运动台的位移，以获得一级运动台相对于第一框架的位置，一级运动台与二级运动台中的至少一个设有第二位移检测组件，第二位移检测组件适于检测二级运动台的位移，以获得二级运动台相对于一级运动台的位置；第一位移检测组件采用纳米、亚纳米级精度传感器，第二位移检测组件采用微米级精度传感器。实现多级运动台的位置解算，满足多级运动装置的位置检测和控制。