精度比较低，一般只能达到10m级精度如测量显微镜，故只适用低精度的仪器中。

　　由于它的优点比较突出，近年来随精密机械的进步，元件本身的加工精度不断提高，开环控制系统也可做到微米级的精度。

　　尽管开环系统优点很多，但达到的精度毕竟是有限的，所以开环控制系统已远远不能满足现代精密仪器的高精度和自动化的要求。

　　精密工作台由微计算机控制，微处理机发出指令性信号A，通过动力部件、传动系统使工作台移动，并通过检测装置不断实时测出工作台的实际位移量，向微处理机不断输送反馈信号B并与指令性信号A进行比较，用A、B信号的差值进行控制，使工作台达到理想的位置精度。

　　用位置检测系统获得的信息与指令性信号进行比较，通过反馈来控制精密机械运动精度的系统称为闭环控制系统。

　　是定位精度高(可达到亚微米甚至是纳微米级精度)；抗外界干扰和内部参数变化的能力强；同时易实现自动化。其缺点是系统比较复杂；调整、使用和维修比较困难；成本较高。

　　尽管如此，由于精密机械和仪器精度要求越来越高，故闭环控制系统应用是非常广泛的。

　　定位系统的种类很多，开环控制系统如螺旋传动、齿轮传动、标尺与度盘、感应同步器等等；闭环控制系统如光电编码器、激光干涉仪等等。

　　由于定位与测量系统和精密仪器的精度直接有关，因此定位与测量系统的设计是仪器设计中的重要一环，并应满足下列要求：

　　l．与仪器的精度相匹配：在选择定位与测量方法时，首先要从所设计的精密仪器的精度出发，根据仪器所要求的精度合理地选择定位与测量方法。一般情况下，定位测量系统的精度应为仪器总体精度的1／3—1／5；

　　2．具有足够的分辨率：定位与测量系统的分辨率是该系统设计中的一个重要参数，分辨率的大小与控制系统有关。

　　一般情况下，位定测量系统的分辨率应小于仪器的精度，通常取仪器精度的l／3—1／10；

　　3．较高的频率响应速度：它主要取决于光电接收元件和控制电路的频率响应速度；

　　编码器的种类很多，可根据编码器的形状、编码方式、检测方式以及光路方式不同而分成不同的类型。

　　直线型，刻度呈直线形，可以直接用于长度定位，通常主刻尺安装在固定部件上。

　　增量式：刻度的节距是均一的，所以能进行增量测量和定位，由于采用计数器来表示位置，因而可以任意进行置零，这种方式构造简单，并容易作到小型化如目前使用的光电游标卡尺等；

　　绝对式：刻度中表示绝对地址的各种符号相应地代表了各种单位的长度(角度)，所以可以进行绝对测量和定位，由于这种方式是直接表示位置(即用信号来表示位置)，因此置零时必须根据是否扣除起始点的地址而进行符号变换。

　　光源和接受元件之间配置着两只刻尺(主刻度尺和指示刻度尺)，并由它们相对移动所产生的光闸效应转换成电信号，与其它方式相比，这种方式刻尺的节距较细，精度较高，并且响应速度也较快。

　　这种方式的光闸效应是由两刻尺的平行刻线产生的，故明暗反差(信噪比)高。同时，又由于位相信号是由位置相互错开的两组刻线群产生的，所以刻度尺的倾斜影响较小。

　　当指示刻度尺与主刻度尺的刻度之间相互倾斜时便产生横向莫尔条纹，与平行狭缝方式相比反差稍低，刻度尺的倾斜会影响信号的相位变动。