仪器科学与技术系成立于2000年，前身系1958年创立的机械工程一系精密仪器教研室，经过李柱、李光瀛、席宏卓、陈志祥、叶虎年、谢铁邦等老一辈教授艰苦努力，历经公差与标准化教研室、测试技术及仪器研究所等发展创立起来的。上世纪50年代涉足测试计量技术领域的人才培养，70年代建成当时国内最先进的精密测量实验室，80年代开始研究生培养，建立全国高校互换性与技术测量研究会，创建测量技术与仪器国际委员会(ICMI)，90年代正式建立精密仪器本科专业和硕士点；2003年获得博士点。本系为教育部制造技术国际标准研究中心依托单位。在高端表面形貌测量与分析、电磁检测技术与装备、可重构虚拟仪器方面形成了学科特色。

　　仪器科学与技术系现下设有“测控技术及仪器”本科专业，“仪器科学与技术”博士后科研流动站、“测试计量技术及仪器”博士点，“测试计量技术及其仪器”“精密仪器及机械”硕士点，“先进制造工程”工程博士点，“仪器仪表工程”工程硕士点。

　　仪器系注重国际交流与合作，与许多国家及中国台湾、香港地区有密切的学术合作、交流关系。现与英国HUDDERSFIELD大学合作，开展本科生和研究生的联合培养。

　　主要研究方向：表面测量技术与仪器、无损检测技术及仪器、光电检测技术及仪器、虚拟仪器及网络测控、精密仪器与机械、生物医学传感及检测技术、自动化检测技术与装备。