该系统可以在超高真空条件下开展薄膜相关的掠入射X射线谱学实验。该系统配备有样品中转存放台，样品可以在不暴露大气的情况下，利用真空手提箱或者真空进样腔室传递到样品中转存放台上。在测试室对薄膜样品进行掠入射硬X射线吸收/衍射/散射信号的测量。该系统配置一个高精度六自由度并联位移平台，可带动整个腔体相对X射线光束线的精密位置调整。

　　六自由度位移平台可实现 X、Y、Z、α、β、运动维度调节，可带动系统进行精密位置调整。该平 台设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小。

　　特点：最大可与8个设备互联、样品自动抓取并自动传递、直线段和圆形系统混合使用、图为圆形系统连接3个腔体传样

　　脉冲激光沉积腔体系统（PLD系统）是一个基于不锈钢圆形腔室的真空设备。该腔室多个法兰口可安装实验配件，包括RHEED、发射光谱、高温测定、薄膜沉积晶振等，实现对薄膜生长速率的控制。该设备主要包括真空系统、磁耦合转靶机构，高温加热伸缩机构。

　　试验台采用液氨开循环制冷方式，给衍射样品提供低温试验环境。 设备样品处最低温度

　　近几年随着我国科学技术研究整体水平的提高，对材料的整体性能以及微结构信息越来越重视。EXAFS作为近邻结构表征的方式…

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